製品情報
ガス分配ボックス/盤 VMB/P
ファシリティサプライ システム
メーカー
TPC
ガス分配ボックス/VMB
ガス分配ボックス/ VALVE MANIFOLDBOXは高圧ガスキャビネットや大流量ガス分岐盤からの配管と繋ぎ、圧力や流量を調節して各設備に供給する分配ボックスです。保安機能としてガス抜き、窒素吹きだし及び排気機能を有します。
ガス分配ボックスは特殊ガスを安全かつ安定的に半導体生産設備へ供給する装置です。普段はマイナス圧を保ち、漏れが発生するとき安全に排出できるため、人体に吸収されるもしくは引火する恐れのあるガスを盤体より外部へ漏れることはありません(INERT GASは例外)。ガス分配ボックスはクリーンルームに設置され、高圧ガスキャビネットや大流量ガス分岐盤からの半導体用ガスを各プロセス制御機器に振り分けます。なお、ガス分配ボックスにパージラインなどの機能を有します。
ガス分配盤/VMP
ガス分配盤/VALVE MANIFOLD PANEL、略してVMPは高圧ガスキャビネットや大流量惰性ガス分岐盤からの配管と繋ぎ、圧力や流量を調節して各設備に供給するパネルです。半導体生産設備に特殊ガスを安全かつ安定的に供給するための必要装置です。
盤体は普段マイナス圧を保ち、漏れが発生するとき安全に排出できるため、人体に吸収されるもしくは引火する恐れのあるガスを盤体より外部へ漏れることはありません(INERT GASは例外)。ガス分配盤はクリーンルームに設置され、高圧ガスキャビネットや大流量ガス分岐盤からの半導体用ガスを各プロセス制御機器に振り分けます。